近一周光刻机概念股受多重利好推动表现强势。贺荣明通过星空科技收购中旗新材控股权,推动集成电路转型并引发资产注入预期;新凯来在SEMICON展会上展示6大类60余款国产化设备,核心零部件100%国产化,推动光刻机板块单日涨幅4.5%,华融化学、芯碁微装等多只个股涨停。上海政策支持国产智算芯片研发,上海微电子等企业技术突破叠加光刻胶认证通过,加速国产化进程。机构提示需关注订单落地与研发投入,同时提醒注意技术转化风险及市场过热风险。全球光刻机市场规模超230亿美元,国内替代空间广阔,建议关注设备、材料、零部件环节自主化企业。